Monolithically Integrated Reconfigurable RF MEMS Based Impedance Tuner on SOI Substrate
Notice bibliographique
Résumé
This paper presents the design and implementation of a MEMS-based impedance tuner realized on a Silicon-on-Insulator (SOI) substrate. Contactless lateral MEMS varactors were realized using laterally moving capacitive thick plates whose motion was precisely controlled using Chevron actuators. The voltage required for the maximum displacement is under 12 V. These varactors are monolithically integrated with CPW lines using a single mask fabrication process on SOI substrate. The implemented MEMS capacitive varactors exhibit a capacitance range of 0.19 pf to 0.8 pf. The improvement of the Smith chart coverage is achieved by proper choice of the electrical lengths of the CPW lines and precise control of the lateral motion of the capacitive plates. The measured results demonstrate a good impedance matching coverage with an insertion loss of 2.9 dB. Details of the SOI-based fabrication process are presented along with discussions on techniques to improve the insertion loss of the device. The proposed design does not suffer from the dielectric charging, micro-welding and stiction problems associated with RF MEMS devices realized using surface micromachining processes. In addition, the device promises to be useful in high power applications, since it is constructed from lateral thick structures.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».