Fabrication of Long Range Surface Plasmon Polariton Biosensors incorporating Optical Waveguides and Encapsulated Microfluidic Channels via Wafer Bonding"
Notice bibliographique
Résumé
A microfabricated structure incorporating optical waveguides and closed microfluidic channels is an essential component in realizing a practical long range surface plasmon polariton (LRSPP) biosensor.This has been achieved through advances in fabrication processes to realize reliable optical waveguides, and by development of a reliable wafer bonding process to create closed fluid channels.An existing process for fabrication of gold waveguides was modified by introducing ultra-shallow trenches to recess waveguides and present a planar surface for bonding.An improved fluidic channel etching process was characterized and successfully employed, yielding very smooth channel surfaces free from curtaining and grass issues.Optical performance of the complete bonded chips was demonstrated and verified using a cutback measurement method, producing an attenuation loss of 4.92 dB/mm.An alternative hot embossing process for formation of microfluidic channels on TOPAS substrate was investigated.Embossing die was produced on 4-inch silicon wafer using deep reactive ion etching (DRIE) to create 29 µm raised channels, and the die was subsequently used to transfer the channel structure to the TOPAS material.to work in the area of microfabrication in general, and in particular, optical LRSPP biosensor project.It was a fascinating introduction to the field, and an excellent opportunity to learn from their extensive knowledge and experience.It was a great pleasure to work under their supervision and directions.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».