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Enregistrement W3007295782 · doi:10.1109/tsm.2020.2976714

Color Difference Detection of Polysilicon Wafers Using Optimized Support Vector Machine by Magnetic Bacteria Optimization Algorithm With Elitist Strategy

2020· article· en· W3007295782 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueIEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing · 2020
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueIndustrial Vision Systems and Defect Detection
Établissements canadiensUniversity of Manitoba
Organismes subventionnairesJiangsu Key Laboratory of Precision and Micro-Manufacturing TechnologyNatural Science Foundation of Hebei ProvinceNational Natural Science Foundation of China
Mots-clésSupport vector machineWaferArtificial intelligenceFeature (linguistics)AlgorithmComputer sciencePattern recognition (psychology)Engineering

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

A support vector machine (SVM) is an important method in the detection and classification of the color difference on a polysilicon wafer. However, the accuracy of a SVM is affected by its feature vector and parameters. Owing to the complex color information and random texture features on the wafer surface, the feature design is extremely complicated. Meanwhile, a SVM optimized using a popular intelligent algorithm easily falls into a local optimum, and the convergence of the algorithm needs to be improved. Therefore, a classification method is proposed for detecting the color difference from multi-scale features in polysilicon wafer images. First, to extract the features, an image segmentation method is devised based on the maximum region contrast, which effectively applies a threshold segmentation of the wafer images. Second, the multi-scale features and color representations in different color spaces are used to construct a nine-dimensional feature vector that sufficiently describes the surface characteristics of the wafer. An approach to optimize the SVM is finally proposed using a magnetic bacteria optimization algorithm based on an elitist strategy for parameter optimization. The optimum individual of each generation is used to adjust the magnetic moment such that the solution approaches the optimal direction and enhances the global search ability. A fitness function is also introduced to improve the diversity of the solutions through a cross-validation method. The experiment results show that the proposed algorithm achieves an accuracy of 98.3% with a better classification performance than the other methods and that the color difference of polysilicon wafers can be effectively detected.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesMéta-épidémiologie (sens strict)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,462
Score d'incertitude au seuil1,000

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,018
Tête enseignante GPT0,209
Écart entre enseignants0,191 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle