Control of germanium diffusion using low quantities of co-implanted silicon isotopes
Notice bibliographique
Résumé
The thermal diffusion of Ge implanted into SiO2 films growth on a Si substrate has been studied by nuclear analyses and μ-Raman spectroscopy with and without the presence of co-implanted 30Si and 29Si barriers, each located from both sides of the Ge implanted distribution. Combination of Rutherford backscattering spectroscopy and Resonant nuclear reaction analysis shows that, under thermal activation at 1100°C, implanted Ge diffuses differently toward the sample surface and the SiO2/Si interface due to the occurrence of Ge outgassing effects, as well as the non-homogenous distributions of the implanted ion species and the defects they have generated inside SiO2. A maximum local atom concentration of co-implanted silicon as low as ∼1.6 at. % is found to completely block the germanium diffusion in both directions, leading to the formation of Ge nanocrystals and Si/Ge aggregates evidenced by μ-Raman spectroscopy. In addition to highlighting the role of Si excess on the Ge trapping mechanism, such a result makes the nominal silicon oxide stoichiometry and composition two crucial parameters to stabilize Ge during high temperature annealing, which explains the strong discrepancies reported for the Ge thermal diffusion coefficient in the literature.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».