Stoichiometry controlled homogeneous ternary oxide growth in showerhead atomic layer deposition reactor and application for ZrxHf1−xO2
Notice bibliographique
Résumé
Atomic layer deposition (ALD) processes for binary oxide (AOy or BOz) growth consist of a sequential introduction of metal precursor (precursor-A or precursor-B) and oxidant-O such that the respective surface reactions are self-limiting with respect to precursor and oxidant exposure times (tA or tB and tO). This approach has been further extended for ternary oxide AδB1−δOλ deposition with (i) super-cycle ALD method (where each super-cycle comprises of m-cycles of AOy ALD followed by n-cycles of BOz ALD), (ii) precursor co-dosing method (where precursor-A and precursor-B are simultaneously pulsed followed by an oxidant-O pulse), and (iii) 3-step ALD (where precursor-A, precursor-B, and oxidant-O are sequentially pulsed). In this Letter, we present a subsaturation pulse initiated 3-step process with ApBO… pulsing sequence for ternary oxide AδB1−δOλ deposition in showerhead ALD reactors. Here, the pulse-Ap reaction step is controlled in the subsaturation regime, while both pulse-B and pulse-O reaction steps are allowed to reach saturation as in a typical ALD. From kinetic simulations, we show that the chemisorbed –Ache surface coverage [Ache] could be controlled below its saturation limit [Ache]sat with exposure time tA and precursor impingement rate kAin in the pulse-Ap reaction step. Furthermore, with precursor transport model, we show that kAin could be varied with a better control using ampoule temperature TampA and precursor-A carrier gas flow FiA together than using TampA alone. As example, we report ZrpHfO… pulsed deposition of ZrxHf1−xO2 ternary oxide samples ZHO1–ZHO4 in a showerhead ALD reactor, and from quantitative XPS analysis, we show that the Zr-fraction (x) could be varied in the range of 0.094 ≤ x ≤ 0.159 with Zr-carrier gas flow FArZr.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».