(tBuN)SiMe2NMe2—A new <i>N,N</i>′-<i>κ</i>2-monoanionic ligand for atomic layer deposition precursors
Notice bibliographique
Résumé
Eight new atomic layer deposition (ALD) precursors were synthesized using a ligand that is new to the field of ALD: (tBuNH)SiMe2NMe2. Complexes containing Mg, V, Mn, Fe, Co, Ni, and Zn were found to be tetrahedral, and Li complexes form more complex structures. These compounds performed exceptionally well by thermogravimetric analysis (TGA). All compounds except for one Li species and the Fe complex left residual masses below 5%, similar or better than the analogous amidinate complexes. In particular, the Co(II) complex is very thermally robust and performs very well during a TGA stress test, surpassing temperatures above 200 °C. These compounds are the first of a family of precursors containing this type of monoanionic N–Si–N ligand and are prime candidates for ALD process development.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».