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Enregistrement W3137341567 · doi:10.1116/6.0000795

(tBuN)SiMe2NMe2—A new <i>N,N</i>′-<i>κ</i>2-monoanionic ligand for atomic layer deposition precursors

2021· article· en· W3137341567 sur OpenAlexafffund
Matthew B. E. Griffiths, David Zanders, Michael A. Land, Jason D. Masuda, Anjana Devi, Seán T. Barry

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films · 2021
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensSaint Mary's UniversityCarleton University
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Mots-clésThermogravimetric analysisAtomic layer depositionLigand (biochemistry)ChemistryDeposition (geology)Layer (electronics)CrystallographyInorganic chemistryOrganic chemistryReceptor

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Eight new atomic layer deposition (ALD) precursors were synthesized using a ligand that is new to the field of ALD: (tBuNH)SiMe2NMe2. Complexes containing Mg, V, Mn, Fe, Co, Ni, and Zn were found to be tetrahedral, and Li complexes form more complex structures. These compounds performed exceptionally well by thermogravimetric analysis (TGA). All compounds except for one Li species and the Fe complex left residual masses below 5%, similar or better than the analogous amidinate complexes. In particular, the Co(II) complex is very thermally robust and performs very well during a TGA stress test, surpassing temperatures above 200 °C. These compounds are the first of a family of precursors containing this type of monoanionic N–Si–N ligand and are prime candidates for ALD process development.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,011
Score d'incertitude au seuil0,792

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,001
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,011
Tête enseignante GPT0,238
Écart entre enseignants0,227 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations4
Publié2021
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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