Conventional surface micromachining process for the fabrication of a linear optical phased array based on piston micromirrors
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Micro electromechanical system (MEMS) based optical phased array (OPA) technology generally demands narrow and tightly spaced suspended microstructures with high-aspect-ratio in the lateral dimensions. This paper presents an one dimensional OPA system which is fabricated using the standard PolyMUMPs process, leading to a low-cost, simplified and commercially accessible surface micromachining technique for the OPA technology. The proposed OPA device utilizes an array of metal-coated silicon micromirrors with high-aspect-ratio structures which act as optical phase shifters. Each micromirror along the array is individually actuated by an electrostatic parallel plate micro-actuator made of a micro-cantilever beam positioned above a fixed electrode. The field of view obtained by the device is measured as 4.76° which is comparable to those by the previous MEMS based OPA devices fabricated using custom-run and complex surface micromachining processes. The OPA device has a response time of 6.5 µ s and an out of plane actuation stroke of 0.16 µ m at a bias voltage of 55 V. The magnitude of the out of plane displacement by the phase shifters is equal to one-quarter of the laser wavelength (650 nm) used which leads to the desired optical phase shift of <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:mi>π</mml:mi> </mml:math> radian.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».