Time-resolved evolution of plasma parameters in a plasma immersion ion implantation source
Notice bibliographique
Résumé
The origin and nature of perturbations induced by a high-voltage pulse on plasma parameters and their relationship to operating conditions (power and pressure) in an argon inductively coupled radio frequency plasma device is explored. The plasma parameters are measured with two radio frequency compensated Langmuir probes positioned either vertically above the pulsing target or horizontally along the diameter of the chamber, in the same axial plane as the target and same distance from the RF antenna. Fluctuations are observed in electron density ne, temperature Te, and plasma potential Vpl following negative polarity high voltage pulses and propagate deep in the plasma and well after the end of the pulse. Time-resolved data results indicate that the perturbations are significantly dampened at higher power as well as when closer to the plasma RF coil. The perturbation amplitudes depart significantly from steady state values when the pulse amplitude exceeds 2.0 kV and increase with the increasing pulse amplitude. Perturbation amplitudes are also higher for target materials having larger secondary electron yield. Our experimental results suggest that the underlying mechanism of this perturbation could be plasma heating driven by damping of a beam-plasma instability as a result of a beam of secondary electrons emitted by the target streaming into the plasma.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».