Exploring Ru Compatibility With Al-Ge Eutectic Wafer Bonding
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
We explore compatibility of Ru with Al-Ge eutectic wafer bonding. We first present experiments to check for the presence of Ru ternary alloy poisoning inhibiting Al-Ge melting as well as evaluations of Al-Ge melt wettability on Ru and diffusion outcomes following bond-simulating anneals. Results show that Ru is stable with no observed microstructural changes or dissolution in the melt, indicating no ternary poisoning for the applied thermal budget. Ru was found to act as an effective barrier offering good melt wettability in all considered configurations with Al and Ge. From inspection of the binary constituents of Al-Ge-Ru we propose that Al-Ge eutectic melting temperature will decrease marginally for Ru contamination in a 1-2% range before a drastic increase in melting temperature (>10°C/% Ru) at higher Ru compositions. We then demonstrate wafer-level packaged 200 mm devices and MEMS with strong bond outcomes of devices bearing Ru contacts. We conclude that Ru has high compatibility with Al-Ge eutectic bonding. [2022-0037]
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle