Electron beam lithography for the realization of electron beam vortices with large topological charge ( L=1000ħ)
Notice bibliographique
Résumé
Electron vortex beams (EVBs) are an appealing topic, both in fundamental science and for practical applications in electron microscopy [1, 2]. Some of the most promising applications require beams that have large orbital angular momentum (OAM) [2, 3, 4]. Here, we demonstrate the largest (L=1000 ħ) high quality EVB by using electron beam lithography (EBL) to fabricate a phase hologram. EBL provides superior fabrication quality and a larger number of addressable points when compared with focused ion beam (FIB) milling. We measure the OAM of the generated EVB through propagation after a hard aperture cut [5]. Comparisons with simulations confirm an average OAM of (960±120)ħ , which is consistent with the intended value. A clear improvement when compared with a FIB‐nanofabricated hologram is demonstrated in terms of 1) the maximum OAM that can be reached; 2) the minimum feature size (33 nm in the present study); 3) the improved uniformity of the frequency response; 4) the better suppression of higher order diffraction due to a nearly perfect rectangular groove profile. We believe that EBL will be the fabrication technique of choice for most new diffractive optics with electrons in the future, permitting more complex holograms and new applications in material science.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».