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Enregistrement W4280577806 · doi:10.1116/6.0001761

Tunable emission from Eu:SiOxNy thin films prepared by integrated magnetron sputtering and plasma enhanced chemical vapor deposition

2022· article· en· W4280577806 sur OpenAlexafffund
Fahmida Azmi, Yuxuan Gao, Zahra Khatami, Peter Mascher

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films · 2022
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueLuminescence Properties of Advanced Materials
Établissements canadiensUniversity of New BrunswickMcMaster University
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Mots-clésMaterials scienceEuropiumSputter depositionAnalytical Chemistry (journal)PhotoluminescenceElastic recoil detectionAmorphous solidRutherford backscattering spectrometrySilicon oxynitrideSputteringThin filmDopantChemical vapor depositionPlasma-enhanced chemical vapor depositionSiliconLuminescenceDopingOptoelectronicsChemistryNanotechnologySilicon nitrideCrystallography

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

This paper reports tunable emission of trivalent (Eu3+) and divalent (Eu2+) europium (Eu) from SiOxNy films fabricated by integrated electron cyclotron plasma enhanced chemical vapor deposition and magnetron sputtering. The photoluminescence (PL) spectra of intense red emission from Eu3+ around 600 nm and blue (cyan) broadband emission from 400 to 750 nm of Eu2+ are observed under daylight conditions with the naked eye. The spectra reveal a strong dependency of the PL on the atomic concentration of the dopant and the silicon/nitrogen ratio. The atomic composition of the films is investigated by Rutherford backscattering spectrometry and elastic recoil detection analysis. Values of the refractive indices are obtained by variable angle spectroscopic ellipsometry. To confirm the presence of crystalline phases of europium silicate Eu4.67(SiO4)3O [Eu2(Si2O7)] and europium silicon oxynitride (EuSi2N2O2) distributed in the amorphous host matrix of SiOxNy, high-resolution x-ray diffraction is used. The findings of this work are promising toward the realization of europium-doped Si-based materials for photonics and lighting technologies.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesMéta-épidémiologie (sens strict)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,023
Score d'incertitude au seuil1,000

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0000,001
Études des sciences et des technologies0,0010,001
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0010,001
Intégrité de la recherche0,0000,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,006
Tête enseignante GPT0,218
Écart entre enseignants0,212 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations6
Publié2022
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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