Chemical imaging of oxide confinement layers in <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML"> <mml:mrow> <mml:mtext>GaAs</mml:mtext> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mo>/</mml:mo> </mml:mrow> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mtext>Al</mml:mtext> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mtext>Ga</mml:mtext> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mn>1</mml:mn> <mml:mo>−</mml:mo> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mrow> <mml:mtext>As</mml:mtext> </mml:mrow> </mml:math> VCSELs
Notice bibliographique
Résumé
Abstract The authors have studied the lateral oxidation of Al x Ga 1 − x As layers buried in vertical-cavity surface-emitting lasers using cross-sectional scanning transmission electron microscopy coupled with electron energy loss spectroscopy. Chemical maps and composition profiles of the oxidized AlO x layers have been produced. The sensitivity is such that trace compositions of a few % As and Ga can be detected in the AlO x with a spatial resolution of a few nanometers on the recorded chemical maps. To demonstrate the performance of the mapping technique, we compare results from an area in the vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) which is pure Al x Ga 1 − x As to an oxidized area. These measurements are performed on a thin sample prepared by the focused ion beam technique within an actual VCSEL, which makes the mapping technique applicable for degradation investigations in devices at different stages of their lifetime. More generally, this measurement method is effective for detailed evaluation of AlO x layers and their fabrication process.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,015 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».