Process Development of Amorphous Indium Tin Gallium Oxide (ITGO) Thin Film Transistors
Notice bibliographique
Résumé
The focus of this study is an investigation on Indium-Tin-Gallium-Oxide (ITGO) TFTs. Unpassivated bottom-gate devices werefabricated with a sputter-deposited 30nm a-ITGO film with 1% and10% oxygen gas ambient, followed by a 1 or 2 hour anneal at 300oCin oxygen. Devices fabricated with PO2 = 1% resulted in a highlyconductive channel, whereas devices with PO2 = 10% displayedsemiconducting behavior and a shallow subthreshold. Followingaging in room ambient for multiple days, devices displayed left-shifted transfer characteristics with steep subthreshold. It ishypothesized that the unpassivated back-channel attains a morehomogeneous trap distribution. The ITGO devices demonstrate aneffective channel mobility approximately 2.5 times higher thanIGZO TFTs. Radial variation in device performance can beattributed to non-uniformities in the as-deposited ITGO film, with acorrelation to the distribution in optical constants across the wafer.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».