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Enregistrement W4308680566 · doi:10.1039/d2ra04234g

Direct glass-to-glass bonding obtained <i>via</i> simplified ammonia-based low-temperature procedure resists high shear stress and powerful CW fiber laser irradiation

2022· article· en· W4308680566 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.
fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.

Notice bibliographique

RevueRSC Advances · 2022
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
Thématique3D IC and TSV technologies
Établissements canadiensUniversity of Waterloo
Organismes subventionnairesWaterloo Institute for Nanotechnology, University of WaterlooNatural Sciences and Engineering Research Council of CanadaUniversity of Waterloo
Mots-clésMaterials scienceAnodic bondingComposite materialAmmonium hydroxideSurface roughnessHydroxideSoda-lime glassChemical engineeringLayer (electronics)

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Direct glass-to-glass bonding is important for high-technology components in optics, microfluidics, and micro-electromechanical systems applications. We studied direct bonding of 1 mm thick soda-lime float glass substrates. The process is based on the classic RCA-1 cleaning procedure from the semiconductor industry modified with an ammonium hydroxide rinse, followed by a thermal treatment under unidirectional pressure without the need for a dedicated drying step. RCA-1 uses a solution of ammonium hydroxide and hydrogen peroxide to clean contaminants off the surface of silicon and enable subsequent bonding. Bond quality was evaluated using destructive shear testing. Strong bonds (≈7.81 MPa on average) were achieved using unidirectional pressure of approximately 0.88 MPa and bonding temperatures between 160 °C and 300 °C applied for 30 min. Surface roughness and chemistry was characterized before and after cleaning. The optical robustness of the bonds was tested and shown to be capable of surviving high powered continuous wave (CW) fiber laser irradiation of at least 375 W focused for 2 s without delamination. Melting of the substrate was observed at higher powers and longer exposure times.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesMéta-épidémiologie (sens strict)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Simulation ou modélisation · Signal consensuel: aucune
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,880
Score d'incertitude au seuil1,000

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,001
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,004
Tête enseignante GPT0,205
Écart entre enseignants0,201 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle