Direct glass-to-glass bonding obtained <i>via</i> simplified ammonia-based low-temperature procedure resists high shear stress and powerful CW fiber laser irradiation
Notice bibliographique
Résumé
Direct glass-to-glass bonding is important for high-technology components in optics, microfluidics, and micro-electromechanical systems applications. We studied direct bonding of 1 mm thick soda-lime float glass substrates. The process is based on the classic RCA-1 cleaning procedure from the semiconductor industry modified with an ammonium hydroxide rinse, followed by a thermal treatment under unidirectional pressure without the need for a dedicated drying step. RCA-1 uses a solution of ammonium hydroxide and hydrogen peroxide to clean contaminants off the surface of silicon and enable subsequent bonding. Bond quality was evaluated using destructive shear testing. Strong bonds (≈7.81 MPa on average) were achieved using unidirectional pressure of approximately 0.88 MPa and bonding temperatures between 160 °C and 300 °C applied for 30 min. Surface roughness and chemistry was characterized before and after cleaning. The optical robustness of the bonds was tested and shown to be capable of surviving high powered continuous wave (CW) fiber laser irradiation of at least 375 W focused for 2 s without delamination. Melting of the substrate was observed at higher powers and longer exposure times.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».