Plasma-Enhanced Molecular Layer Deposition of Phosphane–Ene Polymer Films
Notice bibliographique
Résumé
A vapor-phase molecular layer deposition (MLD) process generating phosphorus-rich phosphane–ene polymer networks was adapted from known solution-phase methods and successfully used in a commercial atomic layer deposition tool. By using plasma-enhanced MLD on Si/SiO 2 and Al 2 O 3 substrates, film deposition was carried out with a commercially available primary phosphine, i BuPH 2, paired with a known volatile cyclic siloxane precursor, tetramethyltetravinylcyclotetrasiloxane (D 4 Vinyl ). The deposition process used radicals generated by an Ar plasma source to facilitate P–H addition to vinyl functionalities on D 4 Vinyl which yielded a growth per cycle of 0.6–2.0 Å, generating 10–120 nm films as determined by atomic force microscopy and scanning electron microscopy measurements. Characterization of the films were carried out using X-ray photoelectron spectroscopy, and oxygen scavenging capabilities were studied using a quartz crystal microbalance, showing an uptake of oxygen by a 12 nm depth of a freshly deposited polymer film.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».