Lamé Resonator Integrated With Chevron-Shaped Thermal Actuators to Improve Motional Resistance and Temperature Stability
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
This paper presents a capacitive bulk mode resonator operating in Lamé mode, where the motional resistance and temperature stability are enhanced by implementing a set of chevron-shaped thermal actuators to reduce the transducer air gaps. The chevrons are heated using micro-heaters that are integrated on the actuator. The device is fabricated in the PiezoMUMPS standard microfabrication process by MEMSCAP. The measured resonant frequency for the fabricated device was observed to be 17.9 MHz. It has been experimentally shown that the transducer air gap can be reduced from <inline-formula xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink"> <tex-math notation="LaTeX">$2.5 \mu m$ </tex-math></inline-formula> to <inline-formula xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink"> <tex-math notation="LaTeX">$0.5 \mu m$ </tex-math></inline-formula> by applying a heater voltage of 2.7 V at atmospheric pressure. In the proposed resonator, the transmission loss can be reduced by 8.54 dB when the actuators are biased at 1.8 V in vacuum, as opposed to when the actuator is off. Under these conditions, the thermal actuators each consume 39 mA. In addition, the implemented thermal actuators can function as integrated heaters that increase the temperature of the suspended square structure to compensate for ambient temperature variations. As such, applying a voltage of 1.8 V in vacuum reduces the resonant frequency from 17.95 MHz to 17.91 MHz, while applying a voltage of 2.6 V at atmospheric pressure reduces the resonant frequency from 17.97 MHz to 17.86 MHz. [2022-0188]
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle