Fabrication of low-cost MEMS microfluidic devices using metal embossing technique on glass for lab-on-chip applications
Notice bibliographique
Résumé
Abstract This paper discusses a low-cost technology for the fabrication of microfluidic devices on glass substrate using metal embossing technique. The fabrication technique demonstrated is a much simpler approach of embossing on glass using thermo-compression process with a patterned metal layer to define device structure. Well established printed circuit board fabrication photo-process is used to realize the desired planar geometry on metal layer deposited over a glass substrate. The depth of the channel is defined by the thickness of the metal deposited by electro-plating. The embossing technology offers a relatively safer approach conducive to batch processing to enable repeatable, high-yield, low-cost devices fabricated using low-cost equipment. Major challenges of achieving adhesion of the deposited thick nickel layer without peel-off and control of the thermo-compression process to achieve reliable and repeatable embossing without structural distortions were addressed. To prove its suitability for manufacturing, experiments were carried out with full wafer of 6″ × 6″ square glass wafer and optimal process steps for low-cost microfluidic device manufacturing have been well established.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».