Pulsed-aerosol assisted low-pressure plasma for thin film deposition
Notice bibliographique
Résumé
<title>Abstract</title> Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PE-CVD) is intensively studied and developed to form (multi-)functional thin films. Generally produced in gases or vapors of thermodynamically stable and chemically inert precursors, aerosol assisted plasma process becomes an alternative as it enables to inject various liquid solutions independently of these characteristics. This study examines the case of pentane aerosols injected in pulsed mode in a low-pressure RF plasma. It produces diamond-like carbon thin films with material balance larger than those obtained in gaseous processes. Here, the deposition process is controlled by the pulsed injection. Indeed, the dynamics of thin film deposition result in time-dependent mechanisms at the pulse scale related to the temporary increase of the working pressure and the presence of liquid droplets in the plasma volume. Hence, thin film deposition is controlled by plasma-surface as well as plasma-droplets interactions. Consequently, aerosol-assisted plasma processes are really relevant for the deposition of (multi-)functional coatings.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,006 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,002 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,003 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; les deux têtes enseignantes s’accordent sur ce qui est montré ici.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».