Robust Fulcrum-Type Wafer-Level Packaged MEMS Switches Utilizing Al-Ru/AlCu Contacts Fabricated in a Commercial MEMS Foundry
Notice bibliographique
Résumé
This paper reports robust wafer level packaged radio-frequency (RF) microelectromechanical systems (MEMS) switches fabricated in a commercial high volume MEMS foundry. A novel wafer level packaging method is developed to improve the mechanical robustness of the movable shuttle. Two SPST switches are packaged in a single die utilizing a shared seesaw-type membrane that pivots on a fulcrum. Single metal contact (S1) and triple metal contact (S2) switch tips provides low-loss and high isolation respectively. The proposed seesaw-type switch offers a unique solution to improve MEMS reliability with the use of non-metallic thick membrane that minimizes stiction, cantilever sagging/curling, contact degradation and micro-welding problems commonly found in MEMS switches. The packaging method does not degrade the RF performance and operates at 30 V. Packaged S1 MEMS switch shows less than 0.6 dB of insertion loss and better than 20 dB of isolation while S2 switch demonstrates lower than 1 dB of insertion loss and higher than 45 dB of isolation from dc to 20 GHz.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».