Deposition of TiC Film by Microwave Sheath-Voltage Combination Plasma
Notice bibliographique
Résumé
To improve wear resistance and adhesion, a hard film of titanium carbide (TiC) is usually prepared by a plasma chemical vapor deposition technique. Microwave sheath-voltage combination plasma (MVP) is a method to generate high-density plasma. In the present study, TiC coatings were prepared by MVP and the processing conditions were examined to reveal the effect on film deposition speed. The TiC coatings were deposited in a reactor using a TiCl4-CH4-H2-Ar gas mixture. The phase identifications, binding energy analysis, coating composition, and friction coefficient were investigated by X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), and ball-on-disk friction tester, respectively. TiC was detected by XRD. As the flow rate of the raw material gas increased, the film deposition rate increased. The maximum deposition rate of the films was 9.0 µm/h. By changing the film deposition conditions, it is considered that higher speed film deposition of TiC will be possible.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,002 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».