Comprehensive investigation of thermal induced reorganization of porous-germanium structures
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Notice bibliographique
Résumé
• Comprehensive investigation of porous germanium reorganization. • Investigation on the effect of Porosity, thickness, temperature, and duration. • Proof of feasibility of suspended Ge foil for the growth of detachable devices. • Reorganization of porous germanium toward a detachable membrane. Porous germanium (PGe) substrates have recently attracted significant attention for the development of lightweight and flexible solar cells and optoelectronic devices. A reliable approach for releasing epitaxial layers based on Germanium and reusing the substrate involves utilizing a bilayer structure of PGe. The growth of such detachable devices holds great potential for integration onto the Si platform. The used structure of PGe is made of a low-porosity layer serving as epitaxial seed on top of high-porosity one used as a weak separation layer. In this work, we investigate the impact of thermal annealing on the PGe morphology for deeper understanding of the mechanisms involved in the formation of the epitaxial seed layer and the voided weak layer underneath. Indeed, thermal-induced reconstruction has been investigated at various annealing temperatures and times for PGe layers with differing porosity levels, encompassing low, high, and gradual porosity profiles. Our findings reveal the formation of a modified substrate at low annealing temperatures, resulting in a suspended membrane on top of the fragile separation layer, rendering it suitable for detachment and subsequent substrate reuse.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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