(Dielectric Science & Technology Thomas Callinan Award) Rare-Earth Luminescence in Silicon-Based Thin Film Structures
Notice bibliographique
Résumé
For Si-based materials to be used in solid-state lighting and silicon photonics schemes it is necessary to have precise control of the optical emission from these materials. This can be accomplished using rare earth dopants such as Ce, Tb, and Eu to obtain blue, green, and red emissions, respectively. In this talk, we first will provide a review of our work in this field and then focus on Eu-doped films, which are particularly attractive for silicon photonic applications due to their intense emission in the visible spectral region [1]. We will also discuss the benefits of introducing a novel hybrid radio frequency (RF) magnetron sputtering source in the electron cyclotron resonance (ECR) plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) reactor chamber [2], using the example of Tb-doped SiON films [3]. This approach contrasts with traditional doping methods which use metal-organic precursors or ion implantation to introduce rare-earth dopant species into the host matrix. [1] F. Azmi et al., “Tunable Emission from Eu:SiO x N y Thin Films Prepared by Integrated Magnetron Sputtering and Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition”, J. Vac. Sci. Technol. A 40, 043402 (2022); DOI: 10.1116/6.0001761 [2] J.W. Miller et al., “Integrated ECR-PECVD and Magnetron Sputtering System for Rare-Earth-Doped Si-Based Materials”, Surface and Coatings Technology 336, 99 (2018); DOI: 10.1016/j.surfcoat.2017.08.051 [3] Z. Khatami et al., "A comprehensive calibration of integrated magnetron sputtering and plasma enhanced chemical vapor deposition for rare-earth doped thin films", J. Mater. Res. (2023); DOI: 10.1557/s43578-023-01207-2
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,003 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».