Influence of Substrate Patterns on the Coating Microstructure in Aerosol-Deposited Alumina Coatings
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Aerosol deposition (AD) is a novel method for producing dense nanocrystalline ceramic films at room temperature. Previous studies primarily used flat substrates with varying hardness and roughness. However, the development of micro-device applications is increasing the demand for deposition on structured/patterned surfaces. To investigate the impact of substrate patterns on coating microstructure and growth mechanisms in AD, alumina coatings were deposited on patterned Si substrates. Si wafers with patterns of micropillars were employed. The coatings were characterized using laser scanning microscopy, scanning electron microscopy, and x-ray diffraction. The microstructure and density of coatings in the valleys were influenced by the size of and the spacing between the patterns. The results revealed that coatings initially formed in the valleys before covering the entire pattern. Fragments of the initial powder particles became trapped between the patterns, adhering to the groove bottoms and pillar sides. Subsequent particle impacts and densification processes transformed these fragments, ultimately filling the gaps between the walls. With further deposition, a uniform coating surface was achieved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».