Electronic Passivation of Crystalline Silicon Surfaces Using Spatial‐Atomic‐Layer‐Deposited HfO<sub>2</sub> Films and HfO<sub>2</sub>/SiN<sub><i>x</i></sub> Stacks
Notice bibliographique
Résumé
Spatial atomic layer deposition (SALD) is applied to the electronic passivation of moderately doped (≈10 16 cm −3 ) p‐type crystalline silicon surfaces by thin layers of hafnium oxide (HfO 2 ). For 10 nm thick HfO 2 layers annealed at 400 °C, an effective surface recombination velocity S eff of 4 cm s −1 is achieved, which is below what has been reported before on moderately doped p‐type silicon. The one‐sun implied open‐circuit voltage amounts to iV oc = 727 mV. After firing at 700 °C peak temperature in a conveyor‐belt furnace, as applied in the production of solar cells, still a good level of surface passivation with an S eff of 21 cm s −1 is attained. Reducing the HfO 2 thickness to 1 nm, the passivation virtually vanishes after firing (i.e., S eff > 1000 cm s −1 ). However, by adding a capping layer of plasma‐enhanced‐chemical‐vapor‐deposited hydrogen‐rich silicon nitride (SiN x ) onto the 1 nm HfO 2 , a substantially improved firing stability is attained, as demonstrated by S eff values as low as 30 cm s −1 after firing, which is attributed to the hydrogenation of interface states. The presented study demonstrates that SALD‐deposited HfO 2 layers and HfO 2 /SiN x stacks have the potential to evolve into an attractive surface passivation scheme for future solar cells.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».