Micromachined Capacitive Sensor With Configured Boundaries: Approach, Design and Fabrication
Notice bibliographique
Résumé
A new set of capacitive-based resonators is introduced in this work that utilizes a unique configured boundaries approach. The proposed design strategy is utilized to develop and characterize three circular resonators as proof-of-concept with strategically configured boundaries. For a fair comparison, the introduced novel resonators along with a reference conventional structure are fabricated using a commercially available fabrication technique, PolyMUMPs. The effects of the presented approach on plate deflection and electromechanical coupling coefficient are demonstrated through finite element analysis (FEA) using COMSOL Multiphysics as well as experimental characterizations. The fabricated devices are electrically evaluated. The white light interferometry is further used for deflection measurements. The device performance evaluations illustrate a robust control of the resonator’s plate stiffness and deflection while maintaining the same dimensions. Experimental evaluations demonstrate an enhanced deflection profile of the plate, which significantly increases the average deflection by up to 50% compared to the conventional resonator developed with the same dimensions and fabrication process. Furthermore, it is observed that using the proposed approach reduces the pull-in voltage by up to 17% compared to the conventional resonators while preserving the resonant frequency within ±150 kHz.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».