Crack-free ScxAl1−xN(0001) layers grown on Si(111) by plasma-assisted molecular beam epitaxy
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
We investigate the synthesis of 340-nm-thick ScxAl1−xN layers with 0 ≤ x ≤ 0.35 on AlN-buffered Si(111) by plasma-assisted molecular beam epitaxy. We employ an AlN nucleation layer under conditions giving rise to single-domain N-polar [(0001̄)-oriented] layers, as demonstrated by the (3 × 3) pattern observed in reflection high-energy electron diffraction and confirmed by KOH etching. The subsequent growth of pure wurtzite ScxAl1−xN layers with x ≤ 0.1 is feasible at temperatures ≤740 °C. However, layers with x ≥ 0.2 grown at 740 °C develop cracks due the high thermal mismatch between ScxAl1−xN and Si. Lowering the growth temperature to 500 °C not only prevents cracking but also improves the crystallinity of the layers. For Sc0.3Al0.7N layers grown at 500 °C, additional x-ray reflections due to intermetallic AlSc and Al3Sc inclusions are observed. The formation of these compounds can be inhibited by lowering the temperature further to 300 °C.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle