Growth of Zn–N Co-Doped Ga2O3 Films by a New Scheme with Enhanced Optical Properties
Notice bibliographique
Résumé
Gallium oxide (Ga2O3), as a wide-bandgap semiconductor material, is highly expected to find extensive applications in optoelectronic devices, high-power electronics, gas sensors, etc. However, the photoelectric properties of Ga2O3 still need to be improved before its devices become commercially viable. As is well known, doping is an effective method to modulate the various properties of semiconductor materials. In this study, Zn–N co-doped Ga2O3 films with various doping concentrations were grown in situ on sapphire substrates by atomic layer deposition (ALD) at 250 °C, followed by post-annealing at 900 °C. The post-annealed undoped Ga2O3 film showed a highly preferential orientation, whereas with the increase in Zn doping concentration, the preferential orientation of Ga2O3 films was deteriorated, turning it into an amorphous state. The surface roughness of the Ga2O3 thin films is largely affected by doping. As a result of post-annealing, the bandgaps of the Ga2O3 films can be modulated from 4.69 eV to 5.41 eV by controlling the Zn–N co-doping concentrations. When deposited under optimum conditions, high-quality Zn–N co-doped Ga2O3 films showed higher transmittance, a larger bandgap, and fewer defects compared with undoped ones.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».