Sol-gel dip-coating of yttrium oxide films with eco-friendly additives for enhanced plasma-resistant coatings
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Yttrium oxide (Y 2 O 3 ) is a promising material for plasma-resistant coatings, commonly used to protect ceramic equipment in chambers for applications such as semiconductor manufacturing. This study examines the effects of five additives on Y 2 O 3 film formation via sol-gel dip-coating and evaluates their quality and plasma resistance. Lauryl dimethylaminoacetic acid (LDAAA) and Carboxymethyl cellulose sodium salt (CMC) additives were dense, pinhole-free, and exhibited plasma resistance comparable to those prepared with 2-methoxyethoxyethanol (2-MEE), a flammable substance with teratogenic toxicity. In contrast, LDAAA and CMC are safer alternatives, widely used as surfactants and thickeners in commercial products. Plasma resistance tests showed a 20-fold improvement over untreated quartz glass, highlighting their practical potential. This study demonstrates a strategy for producing high-quality, plasma-resistant Y 2 O 3 films using safer and more efficient additives.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».