Tailoring CuO <sub>x</sub> Films via Open‐Air Spatial Atomic Layer Deposition and Their Application in Room‐Temperature Humidity Sensing
Notice bibliographique
Résumé
Abstract This study demonstrates the tunability of copper oxide (CuO x ) thin films synthesized using open‐air atmospheric‐pressure spatial atomic layer deposition (AP‐SALD). By systematically varying the deposition temperature and copper precursor flow rate, as well as introducing nitrogen doping through in situ oxidant switching (from H 2 O to ammonium hydroxide (NH 4 OH)), the crystallinity, oxidation state, chemical composition, carrier concentration, and resistivity of CuO x films are modulated. Under optimized conditions, CuO x films achieve a very low resistivity of 0.178 Ω·cm and a high carrier concentration of 10 19 cm − 3 —among the best reported for AP‐SALD‐deposited CuO x . As proof of properties tailoring, these films are integrated into interdigitated‐electrode devices and evaluated as chemiresistive humidity sensors at room temperature. While CuO x films cannot typically sense humidity at room temperature, a film deposited at 225 °C and 350 sccm Cu flow exhibits a limit of detection of 99 ppm and a sensitivity of 0.244 Ω ppm −1 . This work establishes AP‐SALD as a powerful tool for tuning CuO x film properties via controlled deposition conditions and in situ doping—enabling application‐specific optimization for future optoelectronic or sensing platforms.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».