Aerosol assisted plasma for the deposition of multifunctional DLC: From the process to the mechanical properties
Notice bibliographique
Résumé
Diamond like carbon (DLC) coatings were successfully deposited by aerosol-assisted plasma-enhanced chemical vapor deposition. This approach enables the use of non-volatile, reactive and/or solutions of precursors, offering a flexible route for complex film deposition. Here, liquid droplets of pentane within argon were injected in a RF capacitively coupled plasma. The influences of the injected power and of the aerosol injection rate on the deposition rate, structural characteristics, and mechanical properties were investigated. With a relatively high deposition rate, up to 110 nm·min −1 , the balance of matter of this process is very favourable with up to 450 nm deposited per cm 3 of pentane injected. Raman and FTIR spectroscopy revealed a progressive increase in sp 3 content and carbon network crosslinking, associated with a transition toward denser and more disordered structures. Mechanical testing confirmed a strong dependence on process parameters: at low self-bias, films were soft, brittle, and poorly adhered; at higher self-bias voltage (> 360 V), coatings exhibited excellent adhesion (HF1–2), no delamination under scratch testing (Lc₃ > 50 N), and hardness >20 GPa. These results demonstrate that aerosol assisted PECVD is a promising method for producing high-performance DLC coatings with tunable properties and high deposition efficiency.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».