Defects in Plasma-Activated Amorphous SiO <sub>2</sub> Probed Using Positron Annihilation Spectroscopy
Notice bibliographique
Résumé
Defects introduced by plasma activation in amorphous SiO 2 were probed by a monoenergetic positron beam. Doppler broadening spectra of the annihilation radiation were measured as a function of the incident positron energy for SiO 2 deposited from tetraethylorthosilicate using plasma-enhanced chemical vapor deposition on Si substrates. After N 2 plasma activation, electron (and/or positron) trapping centers were primarily introduced in the subsurface region (≤6 nm). The defect concentration decreased after postplasma processes: deionized water rinsing and additional H 2 O plasma activation, which was associated with the formation of silanol groups at the surface. However, a certain number of defects existed in the subsurface region, and they were not annealed out at the typical annealing temperature for bonding SiO 2 layers (400 °C). Because these defects can cause softening of the top surface region and attract water trapped between two wafers or in SiO 2, they are considered to contribute to the wafer-bonding process.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».