Fabrication of 3D Microrobotic Parallel Actuator Architecture
Notice bibliographique
Résumé
ABSTRACT In this paper, we report on the micro/nanofabrication of a 2×1 microrobotic parallel actuator architecture for applications in biomanipulation and genetic therapy. The architecture has arrays of independently actuated micro-nano-needles with 3D mobility. This device is capable of precise micro-nano manipulation tasks, such as targeted drug delivery into single cells in vitro and aspiration critical for biomanipulation on a parallel high throughput scale. The four-sided single-unit actuator ( 4SA ) microrobot has been jointly fabricated at the University of Canterbury’s ( UC ) Nanofabrication Facility and the Canadian Microelectronics Corporation ( CMC ). The three-sided single-unit actuator ( 3SA ) microrobot is being fabricated by CMC in collaboration with Micralyne Inc. The 4SA microrobot is fabricated using a combination of silicon-on-insulator multi-user MEMS process ( SOIMUMPs ) and bonding with another silicon wafer containing a long-standing tower for parallel-plate actuation. It involves a combination of photolithography, dry etching ( RIE ), oxidation, KOH wet etching, bonding and the micro-nanoneedle tip being fabricated using focused ion beam technology. The 3SA microrobot is fabricated using MicraGEM-Si technology, developed by Micralyne Inc. in Canada. This process uses two SOI wafers with the bottom electrode being etched on the base wafer and the suspended actuator structures on the top device wafer. The two wafers are electrically connected through the bond interface, resulting in 3D routing of electrical signals. We report details of the singular and parallel architecture fabrication, working principle in brief, significant results from the SiO 2 etch study of the formation of Si nanopillars and briefly discuss the experimental results from the characterization of the 4SA microrobot.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».