Design and Modeling of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT) using a Multi-User MEMS Process for Medical Imaging
Notice bibliographique
Résumé
According to the Canadian Cancer Society, 2020, “1 in 8 women will be affected by breast cancer and 1 in 33 will die from it.” There has been a decline in breast cancer causalities due to the early detection using advanced imaging technologies. This signifies the importance of early detection of breast cancer that increases the survival rate and treatment options for the patients. One of the platforms which are aiding the early detection is Microelectromechanical Systems (MEMS)-base imaging system. In this thesis, a Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT) is proposed to work at lower frequency ranges for higher penetration aiding imaging applications while operating at a lower voltage. In this work, a comprehensive study based on the Multi-User MEMS Process (MUMPs) has been conducted to investigate the effect of critical design parameters on output performance. Three sets of PMUTs are fabricated based on the investigated parameters. The resonant frequency and acoustic output pressure of these fabricated devices are evaluated and compared based on their respective areas of the piezo layer using COMSOL Multiphysics. The resonant frequency of the fabricated PMUT ranges from 0.5 MHz to 2 MHz. Keysight Impedance Analyzer E4990A has been utilized for the electrical characterization of the fabricated PMUT devices to determine their respective resonant frequencies and validate the COMSOL simulation results. It is shown that the fabricated individual circular PMUT achieves a high acoustic output pressure of 39 kPa at 1.3 MHz and the rectangular PMUT provides 4.7 kPa of acoustic pressure at 1.4 MHz. The results indicate that the proposed PMUT design can deliver acoustic pressure at a lower frequency
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».