Étude spectroscopique et électrique de décharges contrôlées par barrières diélectriques en régime multi-pics
Notice bibliographique
Résumé
L'objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser une Décharge à Barrière Diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique en gaz d'hélium dans un régime homogène, mais présentant un caractère multi-pics, c'est-à-dire qui manifeste plus d'un pic de courant par demi-cycle de la tension appliquée.L'intention ici est de mettre en lumière non seulement différents paramètres fondamentaux de ces décharge (température, densité d'atomes métastables, etc.), mais aussi leur évolution spatio-temporelle.Dans ce contexte, nous avons réalisé des mesures électriques et spectroscopiques de DBD comprenant un ou plusieurs pics de courant de décharge en incorporant une ou plusieurs impuretés dans le gaz vecteur (argon, oxygène diatomique et/ou hexaméthyldisiloxane).En ayant recours à des mesures des populations des niveaux n=2 et n=3 par spectroscopie optique d'émission et d'absorption couplées aux prédictions d'un modèle collisionnel-radiatif, nous avons pu montrer que l'incorporation d'impuretés dans l'hélium joue un rôle crucial dans l'émergence des multi-pics.De plus, elle a tendance à faire apparaitre des pics de températures électroniques entre les décharges au fil d'un demi-cycle, tout en désexcitant de manière collisionnelle les métastables d'hélium.La signature spectroscopique des métastables devient néanmoins rapidement négligeable au fur et à mesure que l'impureté est rajoutée.L'étude s'est étendue par la suite à des conditions de décharges pertinentes pour le dépôt de couches minces, c'est-à-dire en présence d'oxygène et de précurseur organosilicié.Dans ces conditions de plasmas réactifs, il s'est avéré impossible de faire de l'imagerie spatio-temporelle et de mesurer les métastables.Nous avons donc étudié la décharge en moyennant sur un demicycle de la tension appliquée et sur tout l'espace inter-électrodes.La tendance de la température électronique moyenne est à la hausse lors de l'augmentation de la concentration d'impuretés dans le plasma d'hélium.La même tendance a été observée dans les mesures électriques pour la puissance absorbée ou dissipée en moyenne par électron, en excellent accord avec les prédictions de l'équation de transport de l'énergie des électrons. Mots-clés : DBD
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,006 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».