Étude spectroscopique et électrique de décharges contrôlées par barrières diélectriques en régime multi-pics
Bibliographic record
Abstract
L'objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser une Décharge à Barrière Diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique en gaz d'hélium dans un régime homogène, mais présentant un caractère multi-pics, c'est-à-dire qui manifeste plus d'un pic de courant par demi-cycle de la tension appliquée.L'intention ici est de mettre en lumière non seulement différents paramètres fondamentaux de ces décharge (température, densité d'atomes métastables, etc.), mais aussi leur évolution spatio-temporelle.Dans ce contexte, nous avons réalisé des mesures électriques et spectroscopiques de DBD comprenant un ou plusieurs pics de courant de décharge en incorporant une ou plusieurs impuretés dans le gaz vecteur (argon, oxygène diatomique et/ou hexaméthyldisiloxane).En ayant recours à des mesures des populations des niveaux n=2 et n=3 par spectroscopie optique d'émission et d'absorption couplées aux prédictions d'un modèle collisionnel-radiatif, nous avons pu montrer que l'incorporation d'impuretés dans l'hélium joue un rôle crucial dans l'émergence des multi-pics.De plus, elle a tendance à faire apparaitre des pics de températures électroniques entre les décharges au fil d'un demi-cycle, tout en désexcitant de manière collisionnelle les métastables d'hélium.La signature spectroscopique des métastables devient néanmoins rapidement négligeable au fur et à mesure que l'impureté est rajoutée.L'étude s'est étendue par la suite à des conditions de décharges pertinentes pour le dépôt de couches minces, c'est-à-dire en présence d'oxygène et de précurseur organosilicié.Dans ces conditions de plasmas réactifs, il s'est avéré impossible de faire de l'imagerie spatio-temporelle et de mesurer les métastables.Nous avons donc étudié la décharge en moyennant sur un demicycle de la tension appliquée et sur tout l'espace inter-électrodes.La tendance de la température électronique moyenne est à la hausse lors de l'augmentation de la concentration d'impuretés dans le plasma d'hélium.La même tendance a été observée dans les mesures électriques pour la puissance absorbée ou dissipée en moyenne par électron, en excellent accord avec les prédictions de l'équation de transport de l'énergie des électrons. Mots-clés : DBD
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How this classification was reachedexpand
Full frame machine prediction
Teacher imitationNot calibrated prevalence, not ground truth. Human validation pending. The Gemma side is a direct model label for every work in the frame, read from the title-only record. The Codex side is a classifier learned from the 10,348 direct Codex labels and calibrated to design-weighted sample rates; fields without enough sample support carry no Codex call. Candidate is the union of the two sides; consensus is their intersection. These outputs are machine_predicted_unvalidated and are not human labels.
Distilled classifier scores by category (both heads)
| Category | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Metaresearch | 0.000 | 0.001 |
| Meta-epidemiology (narrow) | 0.000 | 0.000 |
| Meta-epidemiology (broad) | 0.001 | 0.000 |
| Bibliometrics | 0.001 | 0.001 |
| Science and technology studies | 0.001 | 0.001 |
| Scholarly communication | 0.001 | 0.001 |
| Open science | 0.001 | 0.001 |
| Research integrity | 0.001 | 0.001 |
| Insufficient payload (model declined to judge) | 0.006 | 0.000 |
Machine scores (provisional)
The two teacher heads of the student model, read on this work. A score orders the frame for review; it never asserts a category, and the validation status ships verbatim with every row.
Baseline scores from an immature model (maturity gate not passed, 7 training rounds). Scores rank; they never assert a category.
score_only:v0-immature-baseline · verbatim from the scoring run: score_only means the number may rank works, and no category label ships from itClassification
machine, unvalidatedMachine predicted; a candidate call from one source (direct Gemma or distilled Codex), not a consensus.
How this classification was reached, model by model and score by score, is at the end of the page under "How this classification was reached".