Growing silicon thin–films laterally over amorphous substrates using the vapor–liquid–solid technique
Notice bibliographique
Résumé
A new technique for growing two-dimensional, laterally grown silicon crystals has been developed.This research borrows from previously reported crystal growing techniques such as Bridgman-Stockbarger growth, epitaxial layer overgrowth, and the vapor-liquid-solid method.Reviews of these technologies are presented.To achieve laterally growth of silicon films, a variant of the vapor-liquid-solid method was utilized, along with equipment and materials traditionally used for microelectronics, to fabricate test structures know as micro-crucibles.These test structures are templates of amorphous materials which confine gold catalyst to a specified geometry.Upon the introduction of a reactive, silicon-containing gas, which diffuses into the micro-crucible and preferentially cracks at the confined gold catalyst, the vaporliquid-solid process takes place and two-dimensional silicon crystals are nucleated from supersaturated gold-silicon alloys within the confines of the micro-crucible.The experimental techniques used to fabricate the micro-crucibles and analyze the silicon growth are described, and new theories on the mechanics of vapor-liquidsolid growth within the micro-crucible test structures are discussed.Semiconducting films grown laterally from micro-crucibles are potential enablers of photovoltaic, optical interconnect, three-dimensional transistor and silicon/III-V on-chip integration technologies, and micro-crucibles are as useful research tools for fundamental studies on grain boundary and solidification theory.v ABR G Une nouvelle technique pour faire crotre des cristaux deux-dimensionnels de silicone, crs latralement, a t dveloppe.Cette recherche prte des techniques rapportes antrieurement, tel que la croissance Bridgman-Stockbarger, la surcroissance pitaxiale par couches et la mthode vapeur-liquide-solide.Ces techniques sont rvises et discutes en dtails.Pour obtenir des pellicules de silicone crues latralement, une variation de la mthode vapeur-liquide-solide a t utilise avec de l'quipement et des matriaux utiliss surtout dans des microlectroniques.Des structures tests, appeles des micro-creusets, ont donc t fabriques.Ces structures tests sont des modles de matriaux amorphes qui confinent un catalyseur d'or une gomtrie spcifique.Pendant l'introduction d'un gaz contenant de la silicone ractif, qui diffuse dans le micro-creuset et fend prfrentiellement au catalyseur d'or confin, le procd vapeur-liquide-solide prend place et il y a une nuclation des cristaux de silicone deux-dimensionnels surgissant des alliages sursaturs d'or et de silicone dans les confines du micro-creuset.Les techniques exprimentales utilises pour fabriquer les micro-creusets et pour analyser la croissance du silicone sont dcrites, et de nouvelles thories sur les mcanismes de la croissance vapeur-liquidesolide dans les micro-creusets sont discutes.Les pellicules semi-conductrices crues latralement sont des facilitatrices potentielles de photovoltaiques, d'interconnexions optiques, de transistors trois-dimensionnels et de technologies intgratrices de puces silicone/III-V.Les micro-creusets sont aussi des outils de recherche utiles pour des tudes fondamentales sur les fonds de grains et la thorie de solidification.vi
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,004 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,002 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,002 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».