Three-degrees-of-freedom MEMS Electrostatic Out-of-plane Comb-drive Actuator for Auto-focus and Image Stabilization in Phone Cameras
Notice bibliographique
Résumé
Two versions of a novel three-degrees-of-freedom MEMS electrostatic vertical comb-drive actuator were developed, fabricated, and demonstrated. The novel actuator utilizes a flexure mechanism in which the in-plane (x-y) stiffness is high compared to the out-of-plane (z-axis) stiffness, allowing the actuator to achieve large stroke along the z-axis. The first actuator was able to achieve a large pure translation of 28 µm at 80 V without a stroke magnification mechanism, and also achieve an angle of rotation of 0.78º at 70 V. The second actuator was able to vertically displace a 3 mg mass for 13.5 µm at 80 V. Two enhanced designs of the 3-DOF actuator were also proposed and modelled and analyzed using CoventorWare. These actuators are developed specifically for Auto-Focus (AF) and Optical Image Stabilization (OIS) in phone cameras. Both designs meet the requirements of AF and OIS in phone cameras based on the numerical simulations results.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».