Stoichiometric Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide Thin Film Synthesis Using DC-saddle Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition
Notice bibliographique
Résumé
Abstract\nSilicon carbide is a versatile material amenable to variety of applications from electrical\ninsulation to surface passivation, diffusion-barrier in optoelectronic and high-frequency devices.\nThis research presents a fundamental study of a-SiC:H films with variable stoichiometries\ndeposited using novel technique, DC saddle-field plasma-enhanced chemical-vapour deposition,\na departure from conventional RF PECVD commonly used in industry. DCSF PECVD is an\nalternative technique for low temperature large area deposition. Stoichiometric a-SiC:H obtained\nby fine-tuning precursor gas mixture. Annealing up to 800oC showed no significant change in\nelemental composition; particularly indicating thermal stability at stoichiometry. Ellipsometry\nshowed wide range of optical gaps whose maximum surpasses values reported in literature.\nRefractive index measured and change in values studied as function of increasing carbon content\nin the films. Also attainment of very smooth surface morphology for stoichiometric a-SiC:H\nfilms reported. Surface roughness of 1 nm rms demonstrated for films grown at temperature as\nlow as 225oC.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».