Investigation of a flexible printed circuit board MEMS electrostatic field sensor
Notice bibliographique
Résumé
This thesis details a novel variation on a previous MEMS electrostatic field sensor by the application of a new material and fabrication method. Electrostatic field sensors are required that can operate in industrial or outdoor environments where they are subject to damage and contamination. Current MEMS electrostatic field sensors provide a range of benefits, but are extremely delicate. Polymer MEMS are an alternative to conventional silicon micromachined MEMS. The fabrication of a MEMS electrostatic field sensor from a polyimide polymer substrate using a low‐cost commercial flexible printed circuit board (Flex‐PCB) process is explored in this thesis. Also included is the design of a silicon based device which is similar in geometry to the polyimide device. Both the silicon and the polyimide devices are tested to characterize them, and their performances are compared to demonstrate the equivalence and suitability of polymer devices to replace silicon devices. The polyimide sensor achieved a sensitivity of 440 μV/(V/m) and a resolution of 15(V/m)/√Hz, which is similar to the silicon design, as well as to many other published electrostatic field sensors. This performance demonstrates the viability of the polyimide sensor in place of silicon designs. The application of this type of sensor as a non‐contact printed circuit voltage probe is demonstrated, and the influence of surrounding structure on the performance of the sensor in various configurations is examined. Also included is the design of a miniaturized electronic system to record measurements and drive the sensors developed, and some theoretical analysis of the sensor function.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».