Electronic Structure of Cerium Oxide Gate Dielectric Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Woo-Hee Kim,a,b W. J. Maeng,c Min-Kyu Kim,a Julien Gatineau,d,*
Notice bibliographique
Résumé
We have systematically investigated the electronic structure of CeO2 dielectric by plasma enhanced atomic layer deposition (PE-ALD). The CeO2 films were deposited by using novel tris(isopropyl-cyclopentadienyl)cerium [Ce(iPrCp)3] precursor and O2 plasma. The energy band gap (3.48 eV), Fermi level (4.71 eV), and band offsets of PE-ALD CeO2 were elaborately determined by combining spectroscopic ellipsometry and ultraviolet photoemission spectroscopy (UPS) techniques. In addition, based on the ex-perimental results of Fowler-Nordheim(F-N) tunneling and Poole-Frenkel(P-F) conduction for Al/PE-ALD CeO2/p-Si, the increased interfacial layer and reduced trapped oxide densities were found to be correlated to the increase in effective barrier height (0.89, 1.18 and 1.26 eV) and decrease in decreased trap energy levels (0.47, 0.26 and 0.18 eV) with increasing O2 annealing temperature (400, 600 and 800C), respectively. These discrepancies might be attributed to the thin film characteristics and oxygen vacancies in the CeO2 dielectrics, depending on the deposition techniques and post deposition annealing processes. VC 2011 The Electrochemical Society. [DOI: 10.1149/1.3625611] All rights reserved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».