Dual phase high temperature Si3N4/Al(Ti)N films with tunable thermal conductivity
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Engineering amorphous dielectric films with tunable thermal conductivity is advantageous for the thermal management of semiconductor devices and thermal insulation of aerospace applications. Here, we demonstrate that incorporating dense dispersed amorphous Al(Ti)N (~1 nm or above) nanoparticles having phase volume fractions from 6 to 70 %, has a negligible effect on the intrinsic thermal conductivity of the amorphous Si 3 N 4 matrix (~2 W m −1 K −1 ), in which the wave-like ‘propagons’ in Allen-Feldmann theory are believed to be unsupressed and non-tuned. By contrast, incorporating (5–15 nm) crystalline TiN phases significantly increases the thermal conductivity (up to 15 W m −1 K −1 ). Critically, the micrometre-thick Si 3 N 4 /AlN and Si 3 N 4 /TiN amorphous matrix dual-phase nanocomposite coatings exhibit excellent thermal stability upon exposure to ambient air at 1000 °C for 50 h. These findings shed light on the phonon transport mechanism regarding the effects of the second phase and pave a design pathway for engineering amorphous coatings displaying unprecedented high thermal conductivity and excellent thermal stability.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».