Electron-beam patterning of cobalt fluoride on 10-nm length scale
Notice bibliographique
Résumé
Electron-beam modification of a precursor material can be utilized to fabricate metallic structures on single-digit nanometer dimensions. Whereas, reliable fabrication of magnetic nanostructures is essential for study of fundamental processes in magnetism, cobalt fluoride (CoF2) precursor is a candidate for such fabrication of magnetic (cobalt) nanostructures. We have studied in situ electron beam patterning of CoF2 using a JEOL 3000F transmission electron microscope. The microscope is equipped with a Gatan Image Filter allowing for electron-energy-loss chemical analysis, and equipped for electron holography for mapping of magnetic fields. Our results on electron beam (<10 nm probe) modification of cobalt fluoride show that electron dose typically of 900 C/cm² is needed for complete removal of fluorine at temperature 570 K. However, cobalt particles about 3 nm in diameter start to form at electron doses on the order of 200 C/cm². Nucleation of cobalt particles initiates at the grain boundaries of the CoF2 precursor. The Co particles grow during exposure resulting, after complete exposure, in structures composed of separated, faceted cobalt particles typically 5 - 15 nm in size. The cobalt particles are either c-axis parallel or perpendicular to the substrate plane. Elevated sample temperature during exposure was necessary to eliminate buildup of microscope-related contamination. Cooling the sample to liquid nitrogen temperature during exposure also resulted in elimination of microscope contamination, but the resulting cobalt structures were composed of individual, separated particles. We believe that the non-continuous nature of the final cobalt structures stems from the surface energetics of high surface energy metal (cobalt) on low surface energy substrate (amorphous carbon). A real-time high-resolution TEM movie of the exposure process will be presented to provide insight to the exposure process.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».