Notice bibliographique
Résumé
Conventional out-of-plane micro electrostatic actuators use attractive force and suffer from the "pull-in" effect, which leads to small stroke and low reliability. A rotation micromirror based on the two-layer repulsive force actuator was developed and fabricated. The rotation micromirror has a mirror size of 312 mum x 312 mum and achieves a mechanical rotation of 2.2°. A conventional design of the same size can only rotate 0.2° because of the "pull-in" effect. Two RF MEMS tunable capacitors driven by the two-layer repulsive force actuator were designed, i.e., a stand-alone tunable capacitor and an above-IC tunable capacitor. Model predictions indicate that the stand-alone tunable capacitor can achieve a tuning ratio from 5:1 to 30:1 with a stiffness varying from 5 N/m to 80 N/m, and that the above-IC tunable capacitor can achieve a tuning ratio of 5.8:1 with a stiffness of 2 N/m and a tuning ratio of 4.8:1 with a stiffness of 5 N/m. Conventional MEMS tunable capacitors can only achieve a tuning ratio of 1.5:1 due to the "pull-in" effect. In this thesis, two novel micro electrostatic actuators are developed: a three-layer repulsive force actuator and a two-layer repulsive force actuator. Both actuators are able to overcome the "pull-in" effect associated with conventional electrostatic actuators by generating a repulsive force instead of an attractive force to achieve large stroke and high reliability. Both novel actuators are compatible with surface micromachining technology. A translation micromirror driven by the three-layer repulsive force actuator was designed for application in adaptive optics. The predicted stroke for a mirror size of 400 mum x 400 mupm is 6 mum. A translation micromirror driven by the two-layer repulsive force actuator was also designed and fabricated. The translation micromirror has a mirror size of 250 mum x 250 mum and provides a translation of 1.8 mum, which is three times that of conventional designs. Theoretical models of the novel actuators are developed to be used as design and optimization tools. Prototypes are developed to experimentally verify and assess the performance of the novel actuators.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,004 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».