Reactively Sputtered Aluminum Oxynitride Deposited at Ambient Temperature: A Material Platform for Tunable Optical Applications
Notice bibliographique
Résumé
The objective of this study is to assess the material system of Aluminum Oxynitride, deposited through a low-temperature reactively sputtered process, as a potential thin film material platform for tunable optical applications across a broad UV-NIR spectral region. A thorough design of experiment assessment of the compositional and optical properties of the thin films is carried out with respect to the deposition parameter space explored herein. The as-deposited films exhibit distinct relationships between the deposition parameters explored and the realized atomic compositions, extending from AlN on the one end to approaching the γ- and spinel- AlON. Moreover, the deposition parameters and compositions obtained correspond strongly to the calculated optical properties, which exhibit a maximum change in refractive index of Δn1550,720=0.4 and a Δn320=0.6. Supplemental electrical characterization was undertaken on samples deposited with and without oxygen, where improved ion interflow is observed in the oxygenated samples. The demonstrated experimental results suggest that the aluminum oxynitride material platform has the potential for broad-spectrum tunable photonic applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,002 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,002 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,003 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,019 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; les deux têtes enseignantes s’accordent sur ce qui est montré ici.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».