Growth of $\varepsilon-\left(\text{In}_{\mathrm{x}} \text{Ga}_{1-\mathrm{x}}\right)_{2} \mathrm{O}_{3}$ on AlN via Pulsed Laser Deposition
Notice bibliographique
Résumé
Ga2O3and its alloys are some of the most desirable ultra-wide bandgap semiconductors for high-power and harsh environment electronics, solar blind deep UV photodetectors, deep UV LEDs, toxic gas sensors, and highpower Schottky barrier diodes. In this research, hexagonal$\varepsilon$(In0.15$\left.\text{Ga}_{0.85}\right)_{2} \mathrm{O}_{3}$was successfully deposited on AIN for the very first time. The epitaxial${\varepsilon}$-(In0.15Ga0.85)2O3 was deposited on wurtzite c-plane (0002) AIN via pulsed laser deposition (PLD), using optimized PLD growth parameters, including the temperature and the oxygen partial pressure. It was observed that a moderate substrate temperature of 550 °C and a relatively high PLD oxygen partial pressure of$1.25 \times 10^{-2} \text{Torr}$, a laser energy density of ∼1.38 Jcm−2, and a laser repetition rate of 2 Hz were necessary to successfully grow${\varepsilon}$-(In0.15Ga0.85)2O3. The attained bandgap was 4.53 eV. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) high-resolution depth profile confirmed the uniform presence of indium throughout the${\varepsilon}$-(In0.15Ga0.85)2$\mathbf{O}_{3}$thin films. With$\sim 2500$laser pulses, the attained thickness of$\varepsilon \left(\text{In}_{0.15} \text{Ga}_{0.85}\right)_{2} \mathrm{O}_{3}$was ∼ 80 nm, confirmed by ellipsometry.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».