Integrated circuits compatible, membrane-based, micro electro-mechanical sensors and actuators
Bibliographic record
Abstract
Le travail poursuivi ici peut être divisé en deux (2) sujets principaux – Pes deux sort des capteurs à la fois compatibles CMOS, à base de membrane, et des capteurs et actionneurs micro-électromécaniques (MEMS). La température maximale autorisée a été fixée à 300oC, afin de faciliter l'intégration monolithique CMOS.Le premier sujet a consisté à concevoir un processus pour construire des capteurs de pression absolue capacitifs amorphes en carbure de silicium (a-SiC) et en polysilicium pour des lectures de moyenne à haute pression. Notre équipe de recherche à l'Université McGill a essayé plus tôt de fabriquer une membrane pour l'emballage et le capteur de pression de la plaquette à l'aide d'un film mince a-SiC. Cependant, ils ont fait face à des défauts avec l'étanchéité de la cavité de référence, en raison de la nature poreuse de la structure amorphe. Notre contribution à atténuer le problème de l'étanchéité, tout en étant adapté à une intégration monolithique CMOS supérieure, a été minutieusement expliquée dans cette thèse. En outre, il a été déposé auprès du bureau des brevets des États-Unis en 2016. Le processus comprenait une gravure arrière et une liaison à une tranche de silicium pour former la cavité de référence du capteur de pression.La deuxième partie de la thèse visant à la fabrication d'un transducteur à ultrasons capacitif micromécanisé à couplage d'air à silicium nitrure (SiN) (CMUT). Nous avons utilisé le processus commercial de PolyMUMPs pour la conception des cellules. Selon la caractérisation électrique et acoustique du PolyMUMPs CMUT, le réseau de 2,8x1,4 mm d'une membrane de 120 μm de diamètre rayonnait à 1,38 MHz Pour une distance de 38 mm. Le facteur Q était 12,29 et la bande passante était d'environ 0,11 MHz. Ces résultats ont donné une estimation initiale de la réponse de SiN CMUT. En raison de la membrane plus mince et de l'entrefer mince du récepteur dans la conception de SiN, nous nous attendions à ce que le rayonnement de l'onde sonore du SiN CMUT soit plus fort que celui des PolyMUMPs CMUT. Cependant, nous ne pouvions pas vérifier la performance, en raison de la mauvaise recette de la couche sacrificielle de polyimide, et nous n'avons pas eu accès à un puissant système de cendres. Par conséquent, nous avons étudié une couche sacrificielle d'aluminium, et nous avons prouvé que la membrane perforée de 110 μm peut être libérée en moins de 320 min. En outre, nous avons validé la compatibilité de la couche sacrificielle en aluminium avec le procédé SiN CMUT.
Fetched live from OpenAlex and de-inverted. Abstracts are not stored in this database: the inverted indexes are 8.6 GB of the frame’s 9.3 GB of text, and the host has 13 GB free.
How this classification was reachedexpand
Full frame machine prediction
Teacher imitationNot calibrated prevalence, not ground truth. Human validation pending. The Gemma side is a direct model label for every work in the frame, read from the title-only record. The Codex side is a classifier learned from the 10,348 direct Codex labels and calibrated to design-weighted sample rates; fields without enough sample support carry no Codex call. Candidate is the union of the two sides; consensus is their intersection. These outputs are machine_predicted_unvalidated and are not human labels.
Distilled classifier scores by category (both heads)
| Category | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Metaresearch | 0.000 | 0.000 |
| Meta-epidemiology (narrow) | 0.000 | 0.000 |
| Meta-epidemiology (broad) | 0.000 | 0.000 |
| Bibliometrics | 0.000 | 0.000 |
| Science and technology studies | 0.000 | 0.000 |
| Scholarly communication | 0.001 | 0.001 |
| Open science | 0.001 | 0.000 |
| Research integrity | 0.001 | 0.001 |
| Insufficient payload (model declined to judge) | 0.005 | 0.003 |
Machine scores (provisional)
The two teacher heads of the student model, read on this work. A score orders the frame for review; it never asserts a category, and the validation status ships verbatim with every row.
Baseline scores from an immature model (maturity gate not passed, 7 training rounds). Scores rank; they never assert a category.
score_only:v0-immature-baseline · verbatim from the scoring run: score_only means the number may rank works, and no category label ships from itClassification
machine, unvalidatedMachine predicted; a candidate call from one source (direct Gemma or distilled Codex), not a consensus.
How this classification was reached, model by model and score by score, is at the end of the page under "How this classification was reached".