Study of the optical properties of SiOxNy thin films by effective medium theories
Notice bibliographique
Résumé
Silicon oxynitride (SiOxNy) films were deposited by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition (ECR-PECVD) and covered the entire composition range from silicon dioxide to silicon nitride. The composition of the films was determined by Rutherford backscattering spectroscopy (RBS), nuclear reaction analysis (NRA), and elastic recoil detection (ERD). These techniques provide the absolute areal concentrations of all elements, including silicon, oxygen, nitrogen, and hydrogen. Additionally, Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy and ellipsometry measurements were performed for the optical characterization of the thin films. Effective medium theories (EMT) were used to model the optical and compositional properties of the SiOxNy films. The refractive index measured by ellipsometry was compared with theoretical calculations using Maxwell–Garnett and Bruggeman equations. The experimental results agree quite well with model data. It is also shown that the concentration of hydrogen in the films has a major influence on the quality of the agreement.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,003 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».