Inductively coupled plasma etching of InP using CH4/H2 and CH4/H2/N2
Notice bibliographique
Résumé
Inductively coupled plasma etching of InP in CH4/H2 and CH4/H2/N2 gas mixtures was studied to understand the etching mechanisms and the influence of etching gas composition on etching rate, etching profile, and surface morphology. CH4/H2 plasmas generally had higher etching rates than CH4/H2/N2 plasmas. Deterioration of InP surfaces, following etching, reflected the preferential loss of P over In due to the diffusivity and reactivity of H being higher than CH3 on InP surfaces, and also since PH3 is more volatile than In(CH3)3. In extreme circumstances, this can lead to the formation of In-rich droplets on the surface, with associated surface roughening. This was supported by the opposing trends of surface roughness (measured using atomic force microscopy) and P/In ratio (from x-ray photoelectron spectroscopy) as a function of the CH4 gas concentration for CH4/H2 gas mixtures. The addition of N2 to the CH4/H2 plasmas improved the surface morphology as N radicals reduced the rate of P removal by reacting with H radicals. However, an inevitable increase in the N+ and N2+ concentrations led to erosion of the SiO2 masks and caused sloping sidewalls.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».