Measurement of energy flux at the substrate in a magnetron sputter system using an integrated sensor
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Knowledge of the energy flux in a sputter deposition system is important for predicting and controlling the properties of the growing film. The use of discrete sensors such as thermocouples for heat measurement has a potential contact problem due to the temperature jump between the surface of the wall and the surrounding gas especially at very low pressures. Embedded sensors such as a microfabricated polysilicon thin film thermistor eliminates the problem associated with thermal connection. In this study, the fabricated sensor is calibrated using ohmic self-heating before the deposition plasma is switched on, and also after the plasma is switched off (passive mode). At low pressures (up to 20 mTorr), pressure has an insignificant effect on the thermal resistance of the sensor. For substrate temperatures up to 250 °C, the sensor response is linear with input power. For a 3 in magnetron system, values of steady state energy flux measured with the sensor range from 5 to 46 mW/cm2 for aluminum (Al) and 14 to 114 mW/cm2 for copper (Cu) depending on the process conditions. These values compare well with those determined theoretically. Magnetron power was varied between 75 and 300 W, gas pressure 5–10 mTorr, and substrate–target distance 10.8–21 cm.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle