<title>Vacuum spark point source for x-ray/EUV lithography</title>
Notice bibliographique
Résumé
The Vacuum Spark X-ray Source (VSX) embodies a miniature, high-repetition rate discharge emitting radiation in a broad spectrum optimized to emit soft X-rays with about 10 + wavelength. We have obtained over 100 (mu) J of energy per pulse in a narrow bandwidth centered around 7 Angstroms and pulse width less than 30 ns. The system operates with an ALFT proprietary pulser that yields a power output of 1 to 10 Watts of X-rays. A proprietary nested cone collimator is used to optimize the collection of the solid angle and direct parallel radiation towards the wafer. We predict this design will yield a throughput of 5 to 20 WLPH on 200 mm wafers. Presently, we are validating results obtained in the 1 - 5 WLPH range. ALFT's goal is to create an X-ray Point Source suitable for Next Generation Lithography. To date, two prototypes have been created to validate our theories and guide future development. The latest prototype has been designed to accept modifications to allow us to meet our 2001 performance goals. This year we achieved two major breakthroughs. We created a unique regenerating anode design that will enable thermal and debris management at the desired output levels, and we designed a trigger that ensures reliable discharge at repetition rates above 5 kHz. Following our previous SPIE Conference reports (SPIE Volume 3676-1, P. 410), the progress on the VSX Source is described here. Moreover, our technical roadmap is presented and the anode and trigger designs are disclosed.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».